| 機臺尺寸(W*D*H) | 190cm*95cm*168cm(若加上三色燈是200cm,寬度加上Pump馬達約為115cm) |
| 機臺重量+Pump重量 | 整機重量約765KG(機臺重量約680KG,而Pump馬達重量約85KG) |
| 需求電源 |
1.3相220V、50/60Hz、4wire、30A 2.隨機附380V轉220V變壓器 3.預留變壓器空間100cm*60cm |
| Chamber腔體尺寸(W*D*H) | 尺寸：438*429*60mm |
| 材質 | 不銹鋼 |
| 腔體上升高度 | 17cm |
| 電漿處理時間(UPH) | 2～10 min/batch |
| 抽氣速度 | 頻率60HZ時，速度：1800rpm |
| 軌道寬度 | 依產品之寬度設計（目前三軌最大寬度量測為96.2~97cm) |
| 軌道數量 | 小于70mm 為4軌，大于70mm為3軌 |
| 操作面板 | PC_based + 15″無觸控屏幕 |
| 使用氣體 | Ar、O2 |
